有研科技集團有限公司、有研稀土新材料股份有限公司聯合開發的“高純稀土金屬、合金靶材及其制備技術”獲得2019年中國有色金屬工業科學技術獎一等獎。
高純稀土金屬及合金靶材作為濺射薄膜材料已成為眾多稀土功能材料及其器件的關鍵核心材料,廣泛應用于集成電路、新型顯示、移動通訊等高新技術領域,為高新技術產業創新提供重要支撐。但是我國稀土金屬及靶材生產技術、設備相對落后,產品檔次低,相關高端應用市場及核心技術被國外掌握。
本項目為滿足我國高新技術產業對高端稀土金屬、合金靶材的迫切需求,突破了電子信息等用稀土靶材產品及相關共性關鍵技術,自主開發出稀土金屬和靶材產業化制備技術及多臺套專用生產裝備。自主研發的電子信息用釔、鉺、鑭、釓、鈧靶材及OLED用高純鐿蒸發料,純度大于4N,60種雜質元素總量小于100 ppm,其中,高純鐿蒸發料產品已在國內多個OLED廠家實現應用;開發的高鈧含量(Sc>20%)鋁鈧合金靶材產品,純度≥3N5;高性能稀土永磁用鋱、鏑靶材實現規模生產,國內外市場占有率超過85%。高純稀土金屬及合金靶材的國產化制備,為國產化芯片及其器件的開發和高性能磁材提供了關鍵原料保障。